- установка для напыления тонких пленок
- film evaporator
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
установка для напыления тонких пленок
Look at other dictionaries:
НАПЫЛЕНИЕ ВАКУУМНОЕ — нанесение пленок или слоев на пов сть деталей или изделий в условиях вакуума (1,0 1 Х 10 7 Па). Н. в. используют в планарной технологии полупроводниковых микросхем, в произ ве тонкопленочных гибридных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники … Химическая энциклопедия
